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特點：

測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。

特點：

1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力

2. 電動Z軸分辨力0.1μm

3. 具有高度自動測量

4. 內(nèi)建偏光測量光學(xué)模塊

5. 高速/無接觸測量

6. 同軸光/底光測量

7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度

技術(shù)規(guī)格參數(shù)：

型號		MTM-3020MA
工作臺	金屬臺尺寸(mm)	500 x 330
	玻璃臺尺寸(mm)	350 x 250
	X、Y軸運動行程(mm)	300 x 200
手動Z軸行程(mm)		120
自動Z軸行程(mm)		2
外形尺寸(mm)		825 x 660 x 910
儀器重量(kg)		130
X、Y、Z軸分辨力(μm)		0.5
自動Z軸分辨力(μm)		0.1
示值誤差(μm)		E1XY=( 2.5+ L/100) μm  (L為測量長度，單位mm)
物鏡放大倍數(shù)誤差		包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≦0.08%
落射照明光源		可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/DIV>
底光照明光源		可調(diào)高亮度LED燈源
		目視系統(tǒng)	影像系統(tǒng)
物鏡放大倍數(shù)		5X、10X、20X、50X	5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡
目鏡放大倍數(shù)		10X雙鏡筒	1/2”CCD攝像機
視頻總倍率		50X ~500X	142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900)
單層透明膜厚度測量模組
高精度測量模式					快速測量模式
厚度測量范圍		100nm ~300nm	300nm ~500nm	500nm ~3μm	3μm ~20μm
分辨力		5nm	5nm	7.5nm	0.1μm